日本电子JSM-6701F冷场发射扫描电子显微镜 参数指标

　　分辨率：1.0nm at 15kV;2.2nm at 1kV

　　加速电压：0.5KV-30kV

　　放大倍数：25-650K

　　样品室尺寸：zei大200mm直径样品

　　束流强度：10^-13到2X10^-9