FEI Quanta x50 FEG场发射环境扫描电镜 参数指标

　　1.分辨率：

　　二次电子:

　　高真空模式:1.0nm at 30kV;3.0nm at 1kV

　　高真空减速模式:2.3nm at 1kV;3.1nm at 200V(可选项)

　　低真空模式:1.4nm at 30kV;3.0nm at 3kV

　　环境真空模式:1.4nm at 30kV

　　背散射电子:高真空和低真空模式: 2.5nm at 30kV

　　扫描透射STEM探测器:0.8nm at 30kV

　　2.加速电压 200V ～ 30kV, 连续可调

　　3.高稳定性Schottky场发射电子枪

　　4.zei大束流 200nA

　　5.样品室压力zei高达4000Pa

　　6.样品台移动范围

　　Quanta 250 FEG: X=Y=50mm

　　Quanta 450 FEG: X=Y=100mm

　　Quanta 650 FEG: X=Y=150mm