FEI Inspect S50 扫描电子显微镜 参数指标

电子枪：高亮度、方便维护的钨灯丝电子枪

分辨率:
　二次电子:
　　高真空模式 3.0nm at 30kV; 8nm at3kV
　　高真空减速模式 7nm at 3kV (可选项)
　　低真空模式 3.0nm at 30kV; 10nm at 3kV
　背散射电子:
　　4.0nm at 30kV

加速电压：200 V - 30 kV, 连续可调

探测器：E-T二次电子探测器，可选背散射探测器

样品台:50x50mm 4轴马达驱动全对中样品台