日本电子JSM-7001F热场发射扫描电子显微镜 参数指标

　　分辨率：1.2nm at 30kV;3.0nm at 1kV

　　加速电压：0.5KV-30kV

　　放大倍数：10-500K

　　大束流高分辨5nA，WD10mm,15kV时分辨率3.0nm

　　束流强度：1pA到200nA