技术指标

• 溅射电流：5-45mA

• 工作方式：全自动磁控

• 溅射电压：600V

• 靶材：金、铂（标配、二选一）

• 真空度：＜1Pa

• 真空泵：油封式旋片泵1L/s（可选配涡旋干泵）