蔡司ULTRA 55扫描电子显微镜 参数指标

　　分辨率:1.0 nm at 15 kV       1.7 nm at 1 kV　　4.0 nm at 0.1 kV

　　加速电压:0.1 - 30 kV

　　放大倍数:12 - 900,000x

　　探测电流:4 pA - 20 nA

　　电子枪:热场发射

　　标准探测器:镜筒内置式In-Lens二次电子探测器和EsB探测器，样品室内AsB探测器和ET探测器

　　图象处理:7种积分和平均模式

　　系统控制:基于Windows® XP的SmartSEM™

>