蔡司（ZEISS） EVO 18钨灯丝系列扫描电镜参数指标

  【技术参数】

1、分辨率：3.0 nm @ 30 KV (SE 与W)；4.0 nm @ 30 KV (VP  with  BSD )

2、加速电压：0.2-30KV

3、放大倍数：5-1000000 x

4、探针电流：0.5PA-5μA

5、X-射线分析工作距离：8.5mm    35度接收角

6、低真空压力范围：10-400Pa(选配:环扫模式10-3000pa)  用空气或可选的水蒸气

7、工作室：365mm (Φ) x 275 mm (h)

8、5轴优中心自动样品台：X=125mm Y=125mm Z=50mm   

T=-10°- 90°  R=360°(l连续)

9、zei大试样高度：145mm   zei大试样直径：250mm

10、系统控制：基于Windows 7 的SmartSEM 操作系统