FEI Inspect F50 场发射扫描电子显微镜 参数指标

　　分辨率：1.0 nm at 30 kV, 3.0 nm at 1 kV

　　二次电子: 1.0 nm at 30 kV, 3.0 nm at 1 kV

　　减速模式 2.3nm at 1kV, 3.1nm at 200V (可选项)

　　背散射电子: 2.5nm at 30kV

　　加速电压：200 V - 30 kV, 连续可调

　　探测器：E-T二次电子探测器，可选背散射探测器

　　50x50mm 4轴马达驱动全对中样品台

　　.灯丝: 超高亮度Schottky场发射灯丝