蔡司 EVO MA 15/LS 15钨灯丝系列扫描电镜 参数指标

【技术参数】

    分辨率：3.0nm@ 30KV(SE and W)  4.0nm@ 30KV(VP with BSD) 

    加速电压：0.2—30KV 

    放大倍数：5—1000000x 

    探针电流：0.5PA-5μA 

    X-射线分析工作距离：8.5mm     35度接收角 

    压力范围：10—400Pa (LS15:环扫模式10-3000Pa)

    工作室：365mm(φ)×275mm(h) 

    5轴优中心自动样品台：X=125mm  Y=125mm  Z=50mm  T=-10°- 90°°R=360° 

    zei大试样高度：145mm，zei大试样直径：250mm 

    系统控制：基于Windows 7 的SmartSEM操作系统