Veeco Nanoscope Ⅲa 扫描探针显微镜参数指标

　　噪声水平：<0.3&Aring;，

　　横向分辨率：<0.2nm (云母，石墨样品，需合适的环境)

　　扫描范围：(x,y)0.4μm/10μm/125μm;(z)0.4μm/2.5μm/5μm max

　　样品尺寸：直径<= 200mm; 厚度<= 12mm

　　zei高分辨率: 横向0.1nm, 纵向0.01nm;