技术参数：
◎ 工作台自动控制范围：150 mm×150mm
◎ Z方向自动移动范围：50mm
◎ 工作台定位精度：1μm
◎ 光学显微物镜：5X,10X,20X,50X,100X可选
◎ 总放大倍数：200X, 400X, 800X,2000X200X, 4000X可选
◎ 纳米压痕仪/纳米划痕仪/纳米摩擦磨损仪
◎ 微米压痕仪/微米划痕仪/微米摩擦磨损仪
◎ 大载荷压痕仪/大载荷划痕仪/大载荷摩擦磨损仪