主要技术参数

诱导波长：183nm-240nm
光斑大小：20mm×25mm
开闭控制方式：旋转式快门
CCD像元：1360×1024
Bingning模式：2×2,3×3,4×4
显微系统：2.5X-18X
变倍比：1：7
样品二维平台调节 75mm×36
调焦范围：40mm
辐射三重防护
激光定位（可选）
样品室大小：200×200×200mm
仪器尺寸：460×250×450mm
重量：18kg
电源：220V50HZ 100W