技术指标
进气口法兰:DN160 CF DN160 ISO-K
排气口法兰(ISO-KF):DN40
抽速速率(L/s):N2:700 He:580 H2:260 Ar:680
压缩比:N2:1E9 He:1E7 H2:1E6 Ar:1E9
极限压强(Pa):CF:6E-8 ISO-K:6E-7
最大连续前级压强(Pa):300
最大前级压强(Pa):N2:550
最大气载量(sccm):N2:1400 He:1000 H2:800 Ar:550
额定转速(RPM):36000
启动时间(min):≤7
冷却方式:水冷或风冷
冷却水流量(L/min):≥1
冷却水温度(℃):≤25
电源电压(V AC):DC24/AC220
最大功率(W):≤500
适配电源型号:FD-II、FD-IIB、TCDP-II、TD-II
建议前级泵(L/s):4~8
重量(kg):23(LF)24.5(CF)
尺寸