伯东离子蚀刻机 NS-5
参数指标我要纠错


基片尺寸

直径 6英寸 X 1片

样品台

直接冷却，单独冷却

离子源

10cm 考夫曼离子源

电源

可更换为国内电源



我要提交参数指标
相关电子束刻蚀