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伯东离子蚀刻机NS
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伯东离子蚀刻机NS
NS
进口 电子束刻蚀
参考成交价格:
10~30万元[人民币]
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离子蚀刻机 20-M/NS-8 主要技术参数:
基片尺寸
直径 3英寸 X 8片
直径 4英寸 X 6片
样品台
直接冷却
离子源
20cm 考夫曼离子源
电源
WELL-5000(可更换为国内电源
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