Jupiter XR AFM
Jupiter XR 是一款适合大尺寸样品的原子力显微镜。通过它,用户可以实现在一台扫描器上进行高速成像和大范围扫描。Jupiter原子力显微镜可用于200mm晶圆样品的扫描,提供更高的分辨率、更快的测量速度、更简便的用户体验,并且在学术研究和工业研发领域都具有出色的通用性。
与同类大样品原子力显微镜相比,具有更高的分辨率
扫描范围可达100 μm,其速度比大多数原子力显微镜快5-20倍
从设置到获得结果,每一步都更简便、更快速
模块式设计更具灵活性,可以满足多种需求
特点和优势
优于其他任何大样品台AFM的高分辨率
加大扫描范围的扫描器(X-Y轴 100μm,Z轴12μm)可以达到大部分AFM扫描速度的5-20倍
独有的blueDriveTM轻敲模式简化操作流程的同时显著增强测量结果的可重复性
自动化的激光和检测器设置取代了复杂的手动调节旋钮
可以快速精准的定位到200 mm的样品上任意位置
高分辨率的光学系统可以使用户轻松定位到待测区域
使用一个扫描器可以实现任何成像模式,无论是原子级成像还是大范围100μm扫描都无需更换扫描器
支持各种成像模式
模块化设计,可以轻松地添加附件和以后的系统升级
灵活的软件既可以程序化测量步骤也可以应对高级的研究需求
包含一年的全方位质保
终身免费的技术支持及基础应用支持
高性价比的延保服务及高级培训课程
操作模式
接触模式
双频追踪压电力显微镜
高次谐波成像模式
双频激发频率追踪模式(DART)
静电力显微镜(EFM)
力曲线
力阵列模式(force volume)
力调制模式
频率调制模式
扫描开尔文探针显微镜(KPFM)
侧向力模式(LFM)
损耗因子成像模式
磁力显微镜(MFM)
纳米刻蚀
纳米操纵
压电力显微镜(PFM)
极化翻转谱
轻敲模式(AC Mode)
可调节品质因子轻敲模式
矢量压电力显微镜
频率振幅粘弹性成像模式(AM-FM)
接触共振粘弹性成像模式
导电原子力显微镜(CAFM)包含ORCATM和EclipseTM暗场模式
快速力曲线导电模式
电化学应变显微镜(ESM)
快速力曲线模式
高压压电力显微镜
时间分辨介电击穿测试(nanoTDDB)
Jupiter XR AFM
Jupiter XR 是一款适合大样品的原子力显微镜。通过它,用户可以实现在一台扫描仪上进行高速成像和大范围扫描。Jupiter原子力显微镜可用于200mm样品的全面扫描,提供更高的分辨率、更快的测量速度、更简便的用户体验,并且在学术研究和工业研发领域都具有出色的通用性。
· 与同类大样品原子力显微镜相比,具有更高的分辨率
· 扫描范围可达100 μm,其速度比大多数原子力显微镜快5-20倍
· 从设置到获得结果,每一步都更简便、更快速
· 模块式设计更具灵活性,可以满足多种需求