日本电子JXA-8230 电子探针显微分析仪参数指标

检测元素范围WDS：(Be)*1 /B～U, EDS：B～U

X射线检测范围WDS检测的波长范围:  0.087～9.3nm,

EDS EDS检测的能量范围:  20keV

分光谱仪数量WDS: 1～5道可选、EDS: 1台

zei大样品尺寸100mm × 100mm × 50mm（H）

加速电压0～30kV（以0.1 kV为步长）

束流电流范围10-12 ～ 10-5 A

束流电流稳定度5%/h, ±0.3%/12h（W）

二次电子分辨率6nm（W）, 5nm（LaB6）*2

（W.D. 11mm, 30kV）

扫描倍率×40 ～  ×300,000（W. D. 11mm）

扫描图像分辨率zei大 5,120× 3,840

彩色显示器EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024

SEM操作、 EDS分析用:  LCD 1,280 × 1,024

光学显微镜

分辨率～1um

焦深1um

真空系统机械泵、分子泵、离子泵 *2

真空度样品室:  优于8.0 x 10-4Pa,

电子枪:  优于9.0 x 10^-5Pa