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项目 |
描述 |
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分辨率 |
二次电子分辨率 |
30 kV时，3.0 nm(高真空模式) |
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3 kV时，10 nm(高真空模式) |
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背散射电子分辨率 |
30 kV时，4.0 nm(低真空模式) 6Pa |
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放大倍率 |
×5 - ×300,000 |
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加速电压 |
0.3 - 30 kV |
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低真空范围 |
6 – 270 Pa 图形菜单 |
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图像移动 |
±50 µm (WD= 10 mm) |
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zei大样品尺寸/zei大可载样品直径 |
Φ300 mm |
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样品台 |
X |
150 mm |
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Y |
110 mm |
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Z |
5 - 65 mm |
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R |
360° |
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T |
-20° - 90° |
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观测区域/zei大观察区域直径 |
Φ203 mm(可旋转) |
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zei大高度 |
110 mm (WD= 10 mm) |
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样品台控制 |
计算机控制5轴马达驱动优中心 |
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电子光学 |
电子枪 |
预对中钨灯丝 |
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物镜光阑 |
可移动式4孔物镜光阑 |
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枪偏压 |
带可控4偏压 |
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检测器 |
埃弗哈特 索恩利二次电子检测器 |
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高灵敏度半导体背散射电子探测器，五分割 |
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分析位置 |
WD = 10 mm, 取出角 = 35° |
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显示器 |
控制模式 |
操纵杆，键盘和旋钮 |
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显示器 |
19.1英寸液晶平面显示器(如有更改，恕不另行通知) |
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自动合轴 |
自动设定束流，自动合轴 |
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自动图像调整 |
自动聚焦，自动消象散/聚焦，自动调整亮度和对比度 |
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存储图像精度 |
640 × 480 像素, 1,280 × 960 像素 |
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2,560 × 1,920 像素, 5,120 × 3,840 像素 |
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图像文件格式 |
BMP,TIFF,JPEG |
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图像显示模式 |
全屏显示：1,280 × 960 像素 |
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小屏显示：640 × 480 像素 |
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双屏显示：640 × 480 像素 × 2 |
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信号混合模式 |
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真空系统 |
操作 |
全自动程序 |
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涡轮分子泵 |
210L/sec. × 1 |
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机械泵 |
135 L/min.(162 L/min. 60Hz) × 1 |
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安全措施 |
断电保护，漏电保护 |
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辅助功能 |
光栅旋转，动态消像散 |
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动态聚焦/倾斜补偿功能 |
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自由排版打印功能，字母/数字功能 |
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三维动画维修指南 |
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导航，测量方便，倾斜画面 |
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参考成交价格：