FIB 分辨率: 5nm, 30kV

　　SEM分辨率: 2.5nm, 30kV (LaB6)

　　SEM加速电压：0.3k～30kV

　　SEM放大倍数：5～30万倍

　　样品台: X/Y 76 mm, Z 5 to 48 mm

　　T -10 to 90度

　　R 360 度

　　标准: LV 模式, BEI,

　　气体输入系统 x1