【技术特点】-- LUXOR 磁控离子溅射仪

主要技术指标和特点如下：

------ 三种模式： 金属溅射，样品干燥，真空脱气

------ 厚度可选范围：1nm --- 50nm

------ 气源要求： 氩气 0.6bar

------ 真空度可设定： 5Pa--300Pa

------ 工作时间设定： 1---- 240min

------ 可实现多达12个样品的同时喷涂，样品仓高度可调！

------ 专门设计的样品站，可直接实现Thermo Phenom电镜样品夹的喷涂

------ 双重安全护罩保护，硼硅玻璃样品仓外无高压部件

------ 方便的样品固定和靶材更换

------ 占地小30cm*30cm，重量 ：10.8 Kg，长宽高：340mm*305mm*290mm

------ 电源：230V&50Hz, 不含泵功耗120W，含泵功耗500W

【技术特点对用户带来的好处】-- LUXOR 磁控离子溅射仪

【典型应用举例】-- LUXOR 磁控离子溅射仪