日立高新SU-70 超高分辨率分析扫描电子显微镜参数指标

　　二次电子图象分辨率:

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• 　　1.0nm(15KV.WD=4.0mm)

• 　　1.6nm(1KV.WD=1.5mm,减速模式)

• 　　2.5nm(1KV.WD=1.5mm)

　　放大倍数:

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• 　　低放大倍数模式 20-2,000x

• 　　高放大倍数模式 100-800,000x

　　电子光学:

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• 　　电子枪 ZrO/W 肖特基电子枪

• 　　电流 1pA-100nA

• 　　加速电压 0.5-30KV(标准模式)

• 　　着陆电压 0.1-2.0KV(减速模式)

• 　　透镜系统 3级电磁线圈系统

• 　　物镜光阑 4孔光阑,真空外选择和细调

　　样品台:

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• 　　样品台控制 5轴马达控制

• 　　移动范围

• 　　X 0-110mm

• 　　Y 0-110mm

• 　　z 1.5-40mm

• 　　T -0.5O-+700

• 　　R 360O

• 　　样品尺寸 直径150mm(标准)/(zei大) 直径200mm(可选)