日本电子JSM 6390扫描电子显微镜参数指标

　　放大倍数: 5-300，000倍

　　分辨率: 高真空：3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空:4.0nm(30KV)

　　电子枪: 全自动，亦可手动调整

　　样品台: 大全对中型X=80mm，Y=40mm，Z=5到48mm，倾斜：-10 - +90度，旋转：360度

　　灯丝: 工厂预对中灯丝(钨)

　　图像模式: 二次电子像，成份像，拓扑像，阴影像

　　加速电压: 5-30KV

　　聚光镜: 可变焦聚光镜

　　物镜: 超级锥形物镜

　　物镜光阑: 3檔，X-Y可细调

　　电位移: ±50微米

　　自动功能: 聚焦，亮度，衬度，消像散

　　zei大样品: 直径：150mm

　　样品交换: 抽拉式样品台

　　真空系统: 全自动扩散泵DP。分子泵TMP(选购)

　　操作系统: Windows XP