Apollo 300 扫描电镜参数指标

仪器型号：Apollo300

生产厂家：CamScan （英国剑桥）

主要技术指标:

1.分辨率：1.2nm（30kv）/1.5nm（15kv）/2.0nm（1kv）

2.加速电压：100-30kV

3.EDS分辨率: Mn Ka小于133eV

4.EDS 元素分析范围：B5-U92

主要附件:

 1.Through-Lens电子探头

 2.低位探头

 3.英国OXFORD公司INCA EDS

 4.英国OXFORD公司 EBSD

 5.波谱仪（计划安装）

主要用途：

 样品表面高分辨形貌观察、表面元素能谱分析、材料织构分析等。

技术参数

1.电子枪: 高精度预对中三级透镜，由安装了高亮度肖特基电子光源的热场电子枪和两级磁透镜组成 

2.zei大束流: 典型30nA (在减小分辨率的情况下,可达100nA) 

3.放大倍率: ＜3x to＞900，000x 

4.加速电压: 0.1到30KV 

5.内部尺寸: 宽413mmx深313mmx高313mm 

6.多个附件接口: 用于EDX, WDX, EBSD, SEI 的16个位置合理的附件接口 

7.样品台: 6轴，优中心中样品台移动，高精度样品移动，大样品台 

8.样品台移动：X=100mm,Y=100mm,(Y=150mm,选配)Z=50mm,倾斜角=-5to+90°，Z'=10mm,旋转角=360° 

9.DELPHI透镜贯穿式(SE/BSE）上位探测

　　电子枪: 高精度预对中三级透镜，由安装了高亮度肖特基电子光源的热场电子枪和两级磁透镜组成

　　zei大束流: 典型30nA (在减小分辨率的情况下,可达100nA)

　　放大倍率:<3x to>900，000x

　　加速电压: 0.1到30KV

　　内部尺寸: 宽413mmx深313mmx高313mm

　　多个附件接口: 用于EDX, WDX, EBSD, SEI 的16个位置合理的附件接口

　　样品台: 6轴，优中心中样品台移动，高精度样品移动，大样品台

　　样品台移动：X=100mm,Y=100mm,(Y=150mm,选配)Z=50mm,倾斜角=-5to+90°，Z'=10mm,旋转角=360°

　　DELPHI透镜贯穿式(SE/BSE)上位探测

SED, EDX, WDX and EBSD are all mounted on same chamber face and point in direction of stage tilt axis.

Total number of available ports: