电子光学系统

　　分辨率:3.0nm SE@30KV / 4.0nm BSE@30KV

　　4nm@BSE Mode for LV Mode

　　图像采集模式：二次电子，背散射电子像 ，可采集彩色光学显微镜图像

　　探测器：E-T二次电子探测器。 (二次电子探测器可方便采集背散射电子图像)

　　放大倍数：10~1，000，000X

　　加速电压：0.5~30KV

　　灯丝：预对中发叉式钨丝阴极

　　电子枪偏压：自动无缝偏压，偏压与加速电压联动

　　电子枪对中：4极电磁型，自动对中

　　聚光镜：双电磁透镜

　　物镜：35°圆锥形电磁透镜

　　消象散器：8极电磁型 　自动记忆象散

　　图像电位移：4极电磁型 X-Y , ±50um

　　自动控制功能：自动电子枪发射，枪偏压，枪对中，聚焦、象散、 亮度、对比度

图像采集显示系统

　　扫描方式：点/线/面/选区/搜索/观察/照相存储

　　数字图像分辨率

　　选区(640X480)

　　搜索(800X600)

　　观察(1280X960)

　　存储(4096X3072)

　　亮度对比度：自动　可记忆恢复

样品室和样品台

　　内部尺寸：250 X 300 X 270mm (W X L X H)

　　样品台类型：五轴、机械全对中样品台

　　运动行程：X=50mm　Y=60mm　Z=57mm　倾斜-30~ 90°　旋转360°无限

　　马达驱动：标准X, Y, R,三轴马达驱动， 坐标导航指令控制。(5-axis Motorized stage Option)

真空系统

　　扩散泵+旋片式机械泵。 涡轮分子泵+旋片式机械泵 (选配)

　　真空监测控制：皮拉尼真空计+潘宁规，带有安全装置的全自动控制真空系统

　　低真空：1~300Pa,

计算机及软件

　　PC兼容机：WindowsXP,19寸LCD显示器， Intel Dual CPU Co-Processor 3.0 GHz(minimum) 1GB RAM, Hard Disk > 250 GB

技术参数

电子光学系统 

分辨率： 3.0nm SE@30KV / 4.0nm BSE@30KV 

                4nm@BSE Mode for LV Mode 

图像采集模式：二次电子，背散射电子像 ，可采集彩色光学显微镜图像 

探测器：Ｅ－Ｔ二次电子探测器（允许E-TD在没有背散射探测器时，采集背散射电子像） 

放大倍数：10~1，000，000X 

加速电压：0.5~30KV 

灯丝：预对中发叉式钨丝阴极 

电子枪偏压：自动无缝偏压，偏压与加速电压联动 

电子枪对中：4极电磁型，自动对中 

聚光镜：双电磁透镜 

物镜：35°圆锥形电磁透镜 

消象散器：8极电磁型 　自动记忆象散 

图像电位移：4极电磁型 X-Y , ±50um 

自动控制功能：自动电子枪发射，枪偏压，枪对中，聚焦、象散、 亮度、对比度 

图像采集显示系统 

扫描方式：点/线/面/选区/搜索／观察／照相存储 

数字图像分辨率及采集速度                     选区（640X480）

                                                               搜索（800X600）

                                                               观察（1280X960）

                                                               存储(4096X3072)  

亮度对比度：自动　可记忆恢复 

样品室和样品台 

内部尺寸：250 X 300 X 270mm (W X L X H) 

样品台类型：五轴、机械全对中样品台　　 

运动行程：Ｘ＝50ｍｍ　Ｙ＝60ｍｍ　Ｚ＝57ｍｍ　倾斜-30~ 90°　旋转360°无限　 

马达驱动：标准X, Y, R,三轴马达驱动， (5-axis Motorized stage Option) ,坐标导航指令控制。

真空系统 

扩散泵+旋片式机械泵。 涡轮分子泵+旋片式机械泵 (选配) 

真空监测控制：皮拉尼真空计+潘宁规，带有安全装置的全自动控制真空系统 

低真空：1~300Pa, 

计算机及软件 

PC兼容机：WindowsXP,19寸LCD显示器， Intel Dual CPU Co-Processor 3.0 GHz(minimum) 1GB RAM, Hard Disk > 250 GB 

操作软件：自诊断功能GUI操作控制软件 

操作方式：鼠标+键盘 

图像处理分析功能：视频信号实时处理，像素平均，彩色变换，直方图，高频滤波，用户自定义滤波，多点聚焦，3D图像生成，图像拼接，特征标注，几何测量等 

图像存储报告：JPEG, BMP, PCX, TIF格式，可自动存储，自动报告生成 

颗粒度分析软件：粉末粒度，金相颗粒度，相结构分析，显微硬度，膜层厚度分析等 

可选配：EDS、WDS、BSE，EBSD，nano操纵器，样品室CCD,等多种探测器。