韩国世伦AIS2200C 扫描电子显微镜参数指标

　　电子光学系统

• 　　分辨率： 3.0nm SE@30KV / 4.0nm BSE@30KV

• 　　4nm@BSE Mode for LV Mode

• 　　图像采集模式：二次电子，背散射电子像 ，彩色光学显微镜图像

• 　　探测器：E-T二次电子探测器。 (二次电子探测器可方便采集背散射电子图像)

• 　　放大倍数：5~1，000，000X

• 　　加速电压：0.5~30KV

• 　　灯丝：预对中发叉式钨丝阴极

• 　　电子枪偏压：自动无缝偏压，偏压与加速电压联动

• 　　电子枪对中：4极电磁型，自动对中

• 　　聚光镜：双电磁透镜

• 　　物镜：35°圆锥形电磁透镜

• 　　消象散器：8极电磁型 　自动记忆象散

• 　　图像电位移：4极电磁型 X-Y , ±50um

• 　　自动控制功能：自动电子枪发射，枪偏压，枪对中，聚焦、象散、 亮度、对比度

　　图像采集显示系统

• 　　扫描方式：点/线/面/选区/搜索/观察/照相存储

• 　　数字图像分辨率

• 　　选区(640X480)

• 　　搜索(800X600)

• 　　观察(1280X960)

• 　　存储(4096X3072)

• 　　亮度对比度：自动　可记忆恢复

　　样品室和样品台

• 　　内部尺寸：250 X 300 X 270mm (W X L X H)

• 　　样品台类型：五轴、机械全对中样品台

• 　　运动行程：X=50mm　Y=60mm　Z=57mm　倾斜-30~ 90°　旋转360°无限

• 　　马达驱动：X, Y, Z, R, T (5-axis Motorized stage Option) ，坐标导航指令控制。

　　真空系统

• 　　扩散泵+旋片式机械泵。 涡轮分子泵+旋片式机械泵 (选配)

• 　　真空监测控制：皮拉尼真空计+潘宁规，带有安全装置的全自动控制真空系统

• 　　低真空：1~300Pa,

　　计算机及软件

• 　　PC兼容机：WindowsXP,19寸LCD显示器， Intel Dual CPU Co-Processor 3.0 GHz(minimum) 1GB RAM, Hard Disk > 250 GB

• 　　操作软件：自诊断功能GUI操作控制软件

• 　　操作方式：鼠标+键盘

• 　　图像处理分析功能：视频信号实时处理，像素平均，彩色变换，直方图，高频滤波，用户自定义滤波，多点聚焦，3D图像生成，图像拼接，特征标注，几何测量等

• 　　图像存储报告：JPEG, BMP, PCX, TIF格式，可自动存储，自动报告生成

• 　　颗粒度分析软件：粉末粒度，金相颗粒度，相结构分析，显微硬度，膜层厚度分析等

　　可选配：EDS、WDS、BSE，EBSD，纳米操纵器，样品室CCD等多种探测器。