可与CSM各种微米尺度测量模块结合使用,以分析微米级划痕和微米级压痕的三维表面形貌 非接触式测量,完全无损测量 XY大范围扫描(使用CSM标准操作平台) Z方向宽扫描范围 (zei大范围 400 微米) 精确的二维轮廓,三维成像和表面粗糙度测量 可以在透明的材料表面进行成像 粗糙或光滑表面成像 Z方向zei大扫描范围的多种选择