【技术特点】-- 实验室纳米位移平台

主要特点：


6-Axis NanoMax系列
特点：
移动范围：4mm (x, y, z), and 6° (xφ,yφ,zφ)
闭环工作时压电驱动可选
高分辨率：50nm & 0.3 Arcsec（手动）, and 10nm & 0.06 Arcsec（压电驱动）
高硬度
高共振频率：>130Hz (10%)
主动热补偿
低成本

【技术特点对用户带来的好处】-- 实验室纳米位移平台

【典型应用举例】-- 实验室纳米位移平台