优点:采用主动参比技术,极大降低 了热漂移;(400 °C下,小于 10 nm/min )独特的材料设计,无热膨胀;两套独立的载荷位移传感器;采用热量反射屏蔽罩设计及压痕测量水循环冷却系统;高的框架刚度 (大于 10 8 N/m);集成真空腔,允许测试样品的真空度可达到5 x 10 -7 mbar。