日本三丰轮廓仪参数指标

   技术参数：
 
  X1轴

    测量范围：  50mm(CV-1000)或100mm(CV-2000)
    分辨率：    0.2μm
    检测方法：  反射型线性编码器
    驱动速度：  0.2，0.5mm/s
    测量方向：  向后
    直线度：    3.5μm/50mm(CV-1000),
                3.5μm/100mm(CV-2000),
                以X轴为不平方向向上
    指示精度： ±（3.5+2L/100）μm
               L=驱动长度（mm）
    倾斜角度： ±45度（CV-2000）
  Z2轴（立柱，仅用于CV-2000）
    立柱类型： 电动（S4型）和手动（M4型）
    垂直移动： 250mm（S4型）,320mm（M4型）
    驱动速度   1-5mm/s外加手动
  Z1轴（检测器）
    测量范围：  25mm（CV-1000）或40mm(CV-2000)
    分辨率：    0.4μm（CV-1000）或0.5μm（CV-2000）
    检测方法：  弧形编码器
    指示精度：  ±（3.5+14HI/25）μm
    20度时：    H为水平位置上的测量高度（mm）
    测针上/下运作：  弧形运动
    测针方向： 向下
    测力：  10-30mN
    测针针尖： 半径：25μm，硬质合金针尖
    基座尺寸（W x H）:  650x450mm(CV-2000)
    基座材料：  花岗岩（CV-2000）
    重量：  5Kg（CV-1000N2），115.8Kg(CV-2000M4),124Kg(CV-2000S4)
    电源：  100-240VAC±10%，50/60HZ