光电轮廓仪参数指标

WGL光电轮廓仪的产品介绍

仪器由倒置式改为正置式，更符合人们的操作习惯；
应用CMOS代替CCD，省去图象卡并提高了质量；
用低压电源代替高压电源，节省了仪器成本；
用国产的代替德国进口压电陶瓷，解决了关键部件的进口难题；
增加了自动步距和亮度校正程序，同时增加了局部放大三维立体图功能；

 WGL光电轮廓仪的参数
表面微观不平深度测量范围：130?1nm
 测量的重复性：sRa≤0.5nm
 测量精度：8nm
 物镜倍率：40X
 数值孔径：0.65
 仪器视场  目视：f0.25mm
                摄象：0.13X0.13mm
仪器放大倍数  目视：500X 
                      摄象（计算机屏幕观察）：2500X
  接收器测量列阵：1000X1000
  象素尺寸：5.2X5.2?m