会聚束电子衍射(CBD)如果利用透射电子显微镜的聚光系统产生一个束斑很小的会聚电子束照射样品,形成发散的透射束和衍射束(图3)。此时,由于存在一定范围以内的入射方向,通常的衍射“斑点”扩展成为衍射“圆盘”,典型的花样如图4所示。除了被分析的区域小(100nm以下)以外,会聚束电子衍射的主要优点在于通过圆盘内晶带轴花样及其精细结构的分析,可以提供关于晶体对称性、点阵电势、色散面几何等大量结构信息。...
2、扫描电子显微镜(SEM),利用聚焦离子束轰击器件面表,面产生许多电子信号,将这些电子信号放大作为调制信号,连接显示器,可得到器件表面图像。透射电子显微镜(TEM),分辨率可以达到0.1nm,透射电子显微镜可以清晰地分析器件缺陷,更好地满足集成电器失效分析对检测工具的解析要求。3、VC定位技术基于SEM或FIB的一次电子束或离子束,在样品表面进行扫描。...
电子显微镜按结构和用途可分为透射式电子显微镜、扫描式电子显微镜、反射式电子显微镜和发射式电子显微镜等。透射式电子显微镜常用于观察那些用普通显微镜所不能分辨的细微物质结构;扫描式电子显微镜主要用于观察固体表面的形貌,也能与 X射线衍射仪或电子能谱仪相结合,构成电子微探针,用于物质成分分析;发射式电子显微镜用于自发射电子表面的研究。 ...
金相显微组织观察时,需要对样品进行打磨、抛光、化学浸蚀后才能观察,有些样品打磨之前还需进行镶嵌处理。 电子显微镜 (SEM) 是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像,分辨率为6~10nm,主要用于观察材料表面形貌。当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子等。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号