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能谱分析:主要包括X射线光电子能谱XPS和俄歇电子能谱法AES (1)X射线光电子能谱(X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS) X射线光电子能谱(XPS )就是用X射线照射样品表面,使其原子或分子的电子受激而发射出来,测量这些光电子的能量分布,从而获得所需的信息。...
03 能谱分析 主要包括X射线光电子能谱XPS和俄歇电子能谱法AES (1)X射线光电子能谱(X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS) X射线光电子能谱(XPS )就是用X射线照射样品表面,使其原子或分子的电子受激而发射出来,测量这些光电子的能量分布,从而获得所需的信息。...
本低强度低,分析灵敏度高,其检测限达到10-5~10-9g/g(或g/cm3);可以测定几个纳米到几十微米的薄膜厚度。 X射线光电子能谱(X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS) X射线光电子能谱(XPS )是一种表面分析方法,提供的是样品表面的元素含量与形态,而不是样品整体的成分。其信息深度约为3-5nm。 ...
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