GB/T 26250-2010
电子工业用气体 砷化氢
Gases for electronic industry.Arsine
- 标准号
- GB/T 26250-2010
- 发布日期
- 2011年01月14日
- 实施日期
- 2011年05月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB 190 GB/T 3723 GB 5099 GB/T 5832.1 GB 7144 GB/T 8984 GB/T 11640 GB 14193 GB/T 26571 《气瓶安全监察规程》
- 适用范围
- 本标准规定了砷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。