07光栅技术中心“一维光栅线位移传感器”荣获首届“金燧奖”银奖中国光学工程学会发布2022年首届“金燧奖”中国光电仪器品牌榜获奖名单,长春光机所光栅技术中心开发的“一维光栅线位移传感器”荣获银奖。团队自主研发了小型化、高刻线密度一维光栅线位移传感器,首创基于锥面衍射和光栅偏振调制的光栅位移测量方法,解决了衍射干涉光栅测量中反、衍射光信号混叠引入相位误差和波片参数引入多阶非线性误差的问题。...
光栅式传感器(opticalgratingtransducer)指采用光栅叠栅条纹原理测量位移的传感器。光栅是在一块长条形的光学玻璃上密集等间距平行的刻线,刻线密度为10~100线/毫米。由光栅形成的叠栅条纹具有光学放大作用和误差平均效应,因而能提高测量精度。传感器由标尺光栅、指示光栅、光路系统和测量系统四部分组成(见图)。...
传感器由标尺光栅、指示光栅、光路系统和测量系统四部分组成(见图)。标尺光栅相对于指示光栅移动时,便形成大致按正弦规律分布的明暗相间的叠栅条纹。这些条纹以光栅的相对运动速度移动,并直接照射到光电元件上,在它们的输出端得到一串电脉冲,通过放大、整形、辨向和计数系统产生数字信号输出,直接显示被测的位移量。...
这些条纹以光栅的相对运动速度移动,并直接照射到光电元件上; 在它们的输出端得到一串电脉冲,通过放大、整形、辨向和计数系统产生数字信号输出,直接显示被测的位移量。 光栅传感器的结构及工作原理 光栅传感器的结构均由光源、主光栅、指示光栅、通光孔、光电元件这几个主要部分构成。 ...
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