SJ/T 11487-2015
半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法

Non-contact measurement method for the resistivity of semi-insulating semiconductor wafer

标准号

SJ/T 11487-2015

发布日期

2015年04月30日

实施日期

2015年10月01日

废止日期

无

中国标准分类号

H83

国际标准分类号

29.045

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法。本标准适用于半绝缘砷化镓、磷化铟、碳化硅等高阻半导体材料电阻率的测量,电阻率的测量范围为10⁵ Ω·cm~10¹² Ω·cm。