产品描述
| 满量程流量范围（N2） | 5SCCM～10SLM | |
| 控制范围 | 2～100％F.S. | |
| 准确度 | ±1.5％F.S. | |
| 线性 | ±0.5～1.5％F.S. | |
| 重复精度 | ±0.2％F.S. | |
| 响应时间 | ≤7sec | |
| 工作温度范围 | 5～45℃ | |
| 工作压差 | ＜0.01MPa | |
| 耐压 | 3MPa | |
| 漏气率 | 1×10-8atm.cc/sec He | |
| 密封材料 | 氟橡胶（或氯丁橡胶） | |
| 电插头形式 | DB15 pin(Female) | |
| 接头选择 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ6hose |
| Swagelok | 1/4”或φ6、φ3 | |
| 抗电磁干扰 | CE | |
| 重量 | 0.92Kg | |
