产品描述
| 满量程流量范围（N2） | 5SCCM～30SLM | |
| 控制范围 | 2～100％F.S. | |
| 准确度 | ≤10SLM | ±1％F.S. |
| ＞10SLM | ±2％F.S. | |
| 线性 | ≤10SLM | ±0.5～1％F.S. |
| ＞10SLM | ±2％F.S. | |
| 重复精度 | ±0.2％F.S. | |
| 响应时间 | ≤1sec | |
| 温度系数 | Zero:≤±0.1%F.S./℃ Span:≤±0.2%F.S./℃ | |
| 工作温度范围 | 5～45℃ | |
| 工作压差 | ＜0.02MPa | |
| 耐压 | 10MPa | |
| 漏气率 | 1×10-9SCCSHe | |
| 密封材料 | 氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶 | |
| 接头选择 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ6hose |
| Swagelok | 1/8”、1/4”或φ3、φ6mm | |
| 电插头形式 | DB15 pin(Male) | |
| 抗电磁干扰 | CE | |
| 重量 | 1Kg | |
