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方案摘要
冷场发射扫描电子显微镜 JSM-7500F
主要特点： 1.主动式减震器 2.最先进的磁悬浮分子泵系统，无需UPS保护 3.标配的五轴马达驱动全对中样品台 4.全自动样品更换气锁 5.全自动样品监控系统 6.全自动物镜光阑 7.多通道显示系统 8.自动减速系统标准配置 技术参数： 1.分辨率：1.0nm(15kV)/1.4nm(1kV) 2.加速电压：0.1KV-30kV 3.放大倍数：25-100万倍 4.样品室尺寸：最大200mm直径样品 5.束流强度：10-13到2X10-9
