应用领域：
资料类型：样本
Park NX-Hivac
用于失效分析的高真空扫描
先进的StepScan自动化扫描和更快的激光校准技术
多样品模块
Park招牌技术便捷的针尖替换
大型真空腔300mm X 420mm X 320mm
提供超长观测距离的同轴光学设备
用于提高灵敏度的高真空SSRM
方案摘要
