无静电压电力显微镜

应用领域:电子/电器/半导体,纳米材料

资料类型:其他资料

方案摘要

随着原子力显微镜(AFM)的问世,纳米尺度上的特性研究得以更深入地开展,接触式和非接触式的原子力显微镜测量方法对材料的表面特性研究起到了至关重要的作用。而原子力显微镜探针与样品表面之间的相互作用力,是测量样品形貌与其他特性的最重要因素。但是,大多数的原子力显微镜测量样品表面时,探针与样品表面之间可能同时会发生静电效应,这种静电力会阻碍原子力显微镜的精确测量,妨碍其对材料特性的准确表征。因此量化与消除静电效应对原子力显微镜测量的影响极其重要。

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