10月26日，2023年全国电子显微学学术年会在东莞市召开。国仪量子在会议期间重磅发布自主研制的聚焦离子束电子束双束显微镜DB500、超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X，开启了国产高端电镜发展的全新时代。

 

　　发布会现场，国仪量子应用工程师详细介绍了两款全新电镜的研发历程与技术细节，并现场演示了双束电镜的测样过程，点燃了与会嘉宾对国产高端电镜的热情。

 

 

 

　　与用户共创！开启国产电镜全新时代

　　多年来，国仪量子的工程师持续深入现场，走到用户身边，挖掘其对性能、操作等多维度需求，并将这些反馈落实到产品规划中。

 

张泽院士（右三）、陈江华教授（左四）、马德生老师（左二）与国仪量子副总裁张伟（右二）、副总裁曹峰（左三）等人合影

　　此前，国产电镜技术一直局限在显微成像层面，难以满足更高层次的微纳表征、测量加工制造等综合性需求。国仪量子抓住用户痛点，基于深厚的技术积累与出色的产品工程化能力，研发了自主可控的聚焦离子束电子束双束显微镜DB500。这标志着国产电镜正式迈入了微纳加工的全新时代。

　　针对有着更小观测尺度、更高分辨率观测需求的科研用户，国仪量子推出了敢为人先、极具挑战意识的，超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X。进一步夯实了国产高端电镜发展的基础。

　   聚焦离子束电子束双束显微镜DB500

　　优雅精“制”

　　DB500拥有自主可控的场发射电子镜筒和“承影”离子镜筒，是一款优雅全能的纳米分析和制样工具。高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，低电压高分辨率成像，保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒采用液态镓离子源，拥有高稳定、高质量的离子束流，保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器、电子物镜防污染机构，拥有24个扩展口，配置全面，自主可控，扩展性强，为您打造全能纳米分析和加工中心。

　　离子镜筒"承影"

　　分辨率：3 nm@30 kV　　探针电流：1 pA~50 nA　　加速电压范围：500 V~30 kV　　使用寿命：≥1000小时　　长时间稳定性：72小时不间断工作

　　纳米机械手

　　仓内安装方式　　三轴全压电驱动　　步进精度≤10nm　　最大移动速度2mm/s　　集成式控制方式

　　离子束-电子束协同

　　气体注入器

　　单气体注入　　多种气源可选　　伸缩距离≥35 mm　　重复定位精度≤10 um　　加热温度控制精度≤0.1℃　　加热温度范围：室温~90℃　　集成式控制方式

　　产品优势

　　1.高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒，高分辨率成像，兼容磁性样品　　2.“承影”离子镜筒，高稳定、高质量的离子束流，用于高质量纳米加工和TEM制样　　3.样品仓内压电陶瓷驱动的机械手，集成式控制方式，操作精准到位　　4.自主可控，扩展性强，集成化设计的离子源更换时间快，极致的售后服务，提供免费的三年质保无忧服务

　　超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X

　　

超高分辨 挑战极限

　　SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜，其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术（SuperTunnel）以及镜筒工艺升级，实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓，扩展接口增加至16个，快速换样仓最大支持8寸晶圆（最大直径208 mm），极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强，带来了更强的性能和更好的体验。

　　产品优势

　　1.超高分辨率成像，达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV　　2.样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景　　3.高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响　　4.最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求

　　本届会议期间，来自全国的近2000位显微学人齐聚一堂，以振兴电子显微学事业发展为己任，瞄准国家重大需求和国际前沿科学问题，不断为我国卡脖子难题的攻克贡献中国电子显微学者不可或缺的重要力量。国仪量子秉承”为国造仪“的初心，基于市场与用户需求，坚持自主创新与科研攻关，为国产高端科学仪器发展和国家科技自立自强不懈努力。

领域：细胞生物学,地矿/钢铁/有色金属,电子/电器/半导体,纳米材料