不同分析仪器之间的联用技术是当前分析仪器发展的一大方向，它可以让研究者原位同时得到材料更丰富的物理化学性质。雷尼绍作为最早实现拉曼光谱与扫描电镜联用的厂家之一，其设计的两种设备的连接接口—化学与结构分析仪（SCA）具有非常高的灵活性，可实现市面上电镜制造厂商多种常用型号的SEM与雷尼绍inVia拉曼谱仪的连接。SCA提供了一种SEM内的分析技术，补充了光学显微镜为基础的拉曼光谱学，克服了SEM内传统的分析技术EDS的部分局限性，可原位完成Raman、SEM、EDS、CL、PL几种测量，即一次测量可得到样品的纳米形貌特征、元素信息和化学结构及分布等信息。

 

 

 

拉曼光谱与扫描电镜联用技术应用于材料表征工作中，将高难度系数的工作化繁为简，得以精准验证。拥有特殊工作性质的刑侦领域接触的样品多种多样，形貌以及成分都非常的复杂，使得表征工作难度增加，此时采用Raman-SEM联用技术变得尤为重要。使用光学显微镜，很难在形貌复杂且含微量杂质的样品中找到需要检测的物质。此时采用Raman-SEM联用技术，SEM成像能够很容易地找到其中一些可疑的颗粒，借助EDS对可疑颗粒进行元素分析，使用拉曼光谱进行原位测量进一步确定其化学成分。图中案例样品是纺织品中嵌入的有机无机颗粒的混合物，这在刑侦理化检测中经常碰到。通过原位测试发现，纺织物本体为聚酯纤维，颗粒物包含聚四氟乙烯等塑料颗粒。此结果为刑侦破案提供一定的佐证，有效的帮助刑侦人员加快办案进程。

 

                   

样品的扫描电镜成像（内置为显微镜下光学成像）

  

纺织品污染物拉曼成像                                    

雷尼绍拉曼与扫描电镜联用技术被应用于众多领域，在半导体制造过程中，质量监控和保证产量的一个手段是不断对其进行污染物监测。此领域的污染物一般情况下衬度较差甚至透明，粒径通常会接近光学分辨率的极限，很难观察。相对于光学显微镜，扫描电镜能够较容易分辨出污染物颗粒，而拉曼光谱能够很容易鉴定出颗粒的化学成分。对于难以鉴定的成分，EDS还可以给出元素分析，准确地确定并验证颗粒成分，从而找到污染物的来源。此案例中，通过联用技术确定了电路板上的污染物。

 

                                 样品的扫描电镜成像                                           污染物拉曼成像

 

       当前拉曼技术与其他分析手段，包括扫描电镜、原子力显微镜等之间的联用已经非常成熟，使显微拉曼光谱仪以及其他分析手段各自遇到的困难都通过“一次测量”迎刃而解。

 

领域：电子/电器/半导体,纺织/印染/服装/皮革

标签：Raman-SEM联用技术