点击查看下载FIB-SEM赛默飞Helios 5 EXL 使用 Axia ChemiSEM 评估电池材料中的污染物相关资料,进一步了解产品。
污染是电池制造过程中的一大主要问题。从正、负极和电池芯的生产到电池模块的组装和测试,电池制造过程的各个阶段都可能出现污染物。电池中的污染物会导致各种问题,例如,降低材料的使用效率,加速电池退化,甚至导致内部短路。因此,材料科学家必须全面了解可能
描述 | 300mm全晶圆聚焦离子束扫描电子显微镜 |
类型 | FIB-SEM |
分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV;0.9 nm @ 1 千伏 |
单位面积 | each |
对高性能、高能效电子产品的需求正在推动具有更小、更密集的功能和复杂的3D结构的先进设备的发展。这些尖端微处理器、存储器件和其他产品的产能生产极具挑战性,需要对深埋在器件内部的特征进行高分辨率、原子级分析。透射电子显微镜(TEM)正日益成为这种分析的首选技术,并依赖于通过聚焦离子束(FIB)铣削生产的高质量样品。
赛默飞世尔科技Helios 5 EXL DualBeam是一款300mm全晶圆聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM),旨在解决半导体行业中的TEM样品制备挑战。Helios 5 EXL DualBeam能够为当今最先进的工艺节点制备样品,包括亚5nm和门全方位技术。