气体注入系统GIS是FIB-SEM的基本配置之一，它在FIB-SEM中起到两种非常重要的作用，一种是材料沉积功能，一种是辅助刻蚀功能。 Dalex-100气体注入系统提供了截面和TEM样品制备时用于沉积保护的Pt、W和C，用于电路修补的Pt、W和SiO₂ ，以及用于提高Si切割速率的XeF₂。此外，它可以提供其它特殊前驱气体，用于某些材料的铣削或气体干法蚀刻。

核心优势

• 设计紧凑，体积小巧，适配各类扫描电镜/聚焦离子束显微镜

• 微细气针，可将前驱气体准确传送至目标加工位置

• 可搭载三种不同类型气源，如金属（钨，铂）， 绝缘体（氧化硅），蚀刻类气体（氟化氙）

• 工作气压可调，适用不同真空度的应用场景

• 可配置氮气，氧气等用于气路清洗，降低污染

• 用户界面友好，易于维护

应用案例

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  硅片表面沉积的钨纳米线

用户界面

性能参数