• 实现了高精度测量的显微镜，小显示分辨率为0.01um。

• 主机的前台操作设计基于UD(通用化设计)理念。

• 配备三轴电动前置控制手柄，使传统显微镜操作得到全新变化，即使在快速运动过程中也能进行精细定位。

• 用户可选择传统显微镜光学管路或带内置激光自动对焦功能的光学管路，观察方法多种多样，提高测量工作效率。

• 行程为250×150mm的大型工作平台，可为大工件提供足够的测量空间。

• 使用超高精度低热膨胀的玻璃光栅尺和高分辨率的读数头。

• 畅销的数据处理装置QM-Data200和VisionUnit可结合使用，提供有效且稳定的测量环境。

• 晶片夹持器(可用于小于8"的晶片)和高硬度中心支架满足高精度测量需求。

• 电动转塔型拥有回缩功能，在更换物镜时启动工作。

• 高精度测量显微镜技术参数型号HyperMF-B2515B, HyperMF-UB2515B, HyperMF-UD2515B, HyperMF-UE2515B, HyperMF-UF2515B

• 光路有限校正光学系统—无限校正光学系统BF(亮视场)无限校正光学系统BD(亮/暗视场)无限校正光学系统BF(亮视场)带LAF功能无限校正光学系统BF(亮/暗视场)带LAF功能

• 标准分划板(内置)90º点划线十字线(线宽5μm)可调瞳距西登托夫型调节范围：51-76mm

• 光路切换比观察/TV显微摄影=50/50

• 垂直倾斜角度25°倾斜TV端口作为标准配置提供

• 观察图像正像目镜放大倍率10X,15X,20X

• 物镜(可选)可选单筒目镜(配有一个目镜)或双筒目镜(配有两个目镜)配备两个10X目镜ML系列物镜1X,3X,5X,10X,20X,50X,100X-BF(亮视场)-MPlanApo,MplanApoSL,GplanApoBD(亮/暗视场)-BDPlanApo,BDPlanApoSL

• 转塔(可选)BF(亮视场)-(配有四孔手动传感器/电动五孔传感器)BD(亮/暗视场)-(配有四孔手动传感器/电动五孔传感器)

• 聚焦部分*大工件高度150mm测量精度(1.5+0.01L)μmL：测量长度(mm)

• 驱动方式使用控制手柄进行电动控制

• 照明装置透射照明装置远心光学系统，内置孔径光阑，卤素灯泡(12V，50W)，100级光强度可调，光纤冷光照明反射照明装置科勒照明，可变孔径光阑机制，卤素灯泡(12V，100W)，100级光强度可调，光纤冷光照明

• 工作台测量范围（X*Y）250×150mm测量精度(X和Y轴无负载)(0.9+0.003L)μmL：测量长度(mm)工作台尺寸460×350mm载物玻璃有效尺寸300×200mm旋转角度±3º*大承重30kg驱动方式使用手柄进行电动控制

• 检测器高精度光栅尺(*)数显分辨力0.01μm显示轴X,Y,Z数据处理装置QM-DATA200或VisionUnit

• 操作部分手柄急停按钮可用精细间距可用数据输出可用数字显示复位可用照明光强度控制可用LAF（只对焦）--可用LAF（跟踪对焦）--可用转塔控制-可用(安装电动转塔时)

• 更换灯泡时，卤素灯泡用于透射照明标准：02APA527(12V50W)更换灯泡时，卤素灯泡用于反射照明标准：517181(12V100W)高亮度：12BAD602(12V100W)