•我们已经成功开发了高精度的测量显微镜，其小显示分辨力可达0.01um。•主机的前台操作设计理念基于通用化设计（UD）。•配备了三轴电动前置控制手柄，使传统的显微镜操作得以全新变化，即使在快速运动的过程中也能进行精细定位。•用户可选择传统的显微镜光学管路或带内置激光自动对焦功能的光学管路，观察方法多种多样，提高了测量工作的效率。•大工作台行程为250×150mm，可为大工件的测量提供足够的空间。•使用超高精度低热膨胀的玻璃光栅尺和高分辨力的读数头。•畅销的数据处理装置QM-Data200和VisionUnit可结合使用，提供有效且稳定的测量环境。•晶片夹持器（可用于小于8"的晶片）和高硬度中心支架满足高精度测量的需求。•电动转塔具有回缩功能，在更换物镜时能够启动工作。•高精度测量显微镜技术参数如下：
型号：HyperMF-B2515B
光路：有限校正光学系统、无限校正光学系统BF(亮视场)、无限校正光学系统BD(亮/暗视场)、无限校正光学系统BF(亮视场)带LAF功能、无限校正光学系统BF(亮/暗视场)带LAF功能
标准配置：90º点划线十字线（线宽5μm）、可调瞳距、西登托夫型调节范围：51-76mm、光路切换比观察/TV显微摄影=50/50、垂直倾斜角度25°、倾斜TV端口
放大倍率：观察图像正像目镜放大倍率10X,15X,20X
物镜：ML系列物镜1X,3X,5X,10X,20X,50X,100X-BF(亮视场)-MPlanApo,MplanApoSL,GplanApoBD(亮/暗视场)-BDPlanApo,BDPlanApoSL
聚焦部分：*大工件高度150mm
测量精度：(1.5+0.01L)μm
驱动方式：使用控制手柄进行电动控制
•其他相关部分包括照明装置、工作台、检测器、数据处理装置和操作部分。