TargetSystem电子组件制备器
显著缩短了制备时间
不受操作人员技能影响
具有出色的再现性
无需使用昂贵的磨料薄膜
　　
TargetSystem旨在用于微电子组件和扁平化目标的制备。这是一款失效分析工具，可以实时对齐和测量可见和隐藏目标，如微型穿孔和BGA。系统精度高达+/-5µm。
　　
更短的制备时间
智能制备系统(IPS)可以根据实际样品属性和研磨/抛光表面自动调整处理时间和速率。这意味着可以将测量和制备时间缩短至30分钟以内。
　　
再现性
自动化工艺使得TargetSystem不受操作人员技能的影响，确保了无论何人操作都可以获得相同的结果。
　　
降低运行成本
TargetSystem可以与任何SiC纸或其他耗材配合使用，无需使用昂贵的研磨薄片。
　　
TargetMaster
适用于自动目标制备的200mm微型抛光机。适用于30mm试样，并且包括200mmMD-Disc的可翻转夹具。这是一款电子组件制备器。