TargetSystem电子组件制备器

显著缩减制备时间

不受操作人员技能影响

完美的再现性

无需成本昂贵的磨料薄膜

TargetSystem设计用于微电子组件和扁平化目标制备。

这是一款失效分析工具，可对可见目标和隐藏目标进行实时对齐和测量，例如微型穿孔和BGA。

系统精度高达+/-5µm。

较短的制备时间

智能制备系统(IPS)可根据实际样品属性和研磨/抛光表面自动调整消除时间和速率。这意味着可将测量和制备时间缩减至30分钟以内。

再现性

自动化工艺使得TargetSystem不受操作人员技能的影响，无论何人操作都可确保再现性。

降低运行成本

TargetSystem可与任何SiC纸或其他耗材配合使用，无需成本昂贵的研磨薄片。

TargetMaster

适用于自动目标制备的200mm微型抛光机。适用于30mm试样并且包括200mmMD-Disc的可翻转夹具。电子组件制备器