能够适用于300mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用），可以实现多种观察方法，包括明视场观察和荧光观察。在切换物镜时能够自动调节连动的亮度和光圈等，提供舒适的检查环境。配备14×12英寸的载物台，适用于大型样本。半导体／FPD检查显微镜MX61L具有光学系统UIS2（无限远校正），可实现明视场、暗视场、微分干涉、简易偏振光、荧光反射、透射反射等观察方法。照明系统包括反射照明和透射照明，对焦单元可以电动或手动操作。观察筒有不同型号可选，外形尺寸为710（W）×843（D）×507（H）mm，重量为51kg。