能够适用于300mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号，可实现反射透射兼用的多种观察方法，包括明视场观察和荧光观察。在切换物镜时能够自动调节连动的亮度和光圈，为使用者提供舒适的检查环境。配备有14×12英寸的载物台，适用于大型样本。半导体／FPD检查显微镜MX61L提供了多种观察影像实例，包括晶圆（明视场观察）、晶圆（暗视场观察）、晶圆（微分干涉观察）和彩色滤色片（透射观察）等多种观察方法。此外，该显微镜还配备了光学系统UIS2光学系统（无限远校正）和反射照明100W卤素/100W水银/75W氙透射照明等多种功能，以及手动和电动的行程和微调功能。整体外形尺寸为710（W）×843（D）×507（H）mm，重量为51kg。